河北中科微電子有限公司始終秉持技術(shù)核心驅(qū)動的發(fā)展理念，在高端設備維修與改造領域成績斐然。在空氣軸承維修方面，公司憑借深厚的技術(shù)積累，成功完成了對三菱 MS - 27、梅耶博格 TS - 23、梅耶博格 TS - 202、梅耶博格 TS - 205、梅耶博格 TS - 207 等多套內(nèi)圓切割機空氣軸的精密修復。不僅如此，在整機設備改造上，公司針對 Meyerburger wafering saw（梅耶博格內(nèi)圓鋸）以及三菱內(nèi)圓鋸，積累了豐富且成熟的經(jīng)驗。
公司的維修技術(shù)覆蓋范圍廣泛，已成功修復三菱空氣軸承、梅耶博格控制軸承、Disco 氣浮主軸，以及國內(nèi)各類氣浮主軸，并完成了一系列整機設備改造項目。目前，國內(nèi)眾多企業(yè)及科研機構(gòu)已將經(jīng)我司改造的三菱 MS - 27、梅耶博格 TS - 23 設備投入批量生產(chǎn)。這些設備在實際應用中展現(xiàn)出操作簡便、控制精度極高、產(chǎn)品質(zhì)量卓越的顯著優(yōu)勢，贏得了合作企業(yè)的一致贊譽，更為企業(yè)大幅節(jié)約了設備采購與維護成本。
背后支撐這一系列成果的，是河北中科微電子有限公司強大的技術(shù)及工藝團隊。對于每一臺修復及改造的設備，團隊均嚴格遵循標準化流程，進行全面且細致的測試，從源頭把控質(zhì)量，確保設備以最佳狀態(tài)交付客戶，持續(xù)為行業(yè)發(fā)展賦能。
一、空氣軸承工作原理
空氣軸承是內(nèi)圓切片機的關鍵精密部件，它利用空氣動力學原理來支撐和引導運動部件。在空氣軸承系統(tǒng)中，通過精密的氣路將經(jīng)過過濾和穩(wěn)壓的壓縮空氣輸送到軸承的氣腔。當壓縮空氣從氣腔的微小氣孔中噴出時，會在軸承與軸頸（或其他運動部件）之間形成一層極薄但具有承載能力的空氣膜。這層空氣膜就如同氣墊一般，將相對運動的兩個表面隔開，使得運動部件能夠在幾乎無摩擦的環(huán)境下平穩(wěn)運行。例如，在高速旋轉(zhuǎn)的內(nèi)圓切片機主軸上，空氣軸承能夠保證主軸以極高的轉(zhuǎn)速運轉(zhuǎn)，同時維持極低的振動水平，確保切片過程的高精度。
二、空氣軸承在內(nèi)圓切片機中的優(yōu)勢
高轉(zhuǎn)速與高精度：由于空氣軸承的低摩擦特性，內(nèi)圓切片機的主軸能夠達到非常高的轉(zhuǎn)速，常見轉(zhuǎn)速可達每分鐘數(shù)萬轉(zhuǎn)。這種高轉(zhuǎn)速使得切片機在切割脆性材料如硅片、藍寶石等時，能夠?qū)崿F(xiàn)更高效的切削，同時，因為空氣膜的均化作用，能極大地降低主軸的振動，從而保證切片的厚度精度可以控制在微米甚至亞微米級別，滿足光學和半導體行業(yè)對精密加工的嚴苛要求。
長使用壽命：相比傳統(tǒng)的機械軸承，空氣軸承沒有金屬與金屬之間的直接接觸磨損。在正常工作條件下，只要保證壓縮空氣的清潔度和穩(wěn)定的供氣壓力，空氣軸承的使用壽命可以長達數(shù)年甚至更久，減少了設備因軸承磨損而需要頻繁更換的停機時間，提高了生產(chǎn)效率。
良好的熱穩(wěn)定性：在高速運轉(zhuǎn)過程中，機械軸承會因摩擦產(chǎn)生大量熱量，導致溫度升高，進而影響設備的精度和穩(wěn)定性。而空氣軸承的低摩擦特性使其產(chǎn)生的熱量極少，即使在長時間連續(xù)工作的情況下，也能保持良好的熱穩(wěn)定性，確保內(nèi)圓切片機在整個工作過程中都能維持高精度的切片作業(yè)。
三、常見故障及維修經(jīng)驗
供氣系統(tǒng)故障
故障現(xiàn)象：空氣軸承工作不穩(wěn)定，主軸出現(xiàn)異常振動或轉(zhuǎn)速波動。這可能是由于壓縮空氣的壓力不足、流量不穩(wěn)定或者空氣質(zhì)量不佳引起的。例如，空氣過濾器堵塞，會導致進入軸承的空氣流量減少，無法形成足夠厚度的空氣膜，從而使軸承無法正常工作。
維修方法：首先檢查整個供氣系統(tǒng)，包括空氣壓縮機的輸出壓力是否正常，查看空氣過濾器是否需要更換濾芯。使用壓力計檢測供氣管道各節(jié)點的壓力，確保壓力穩(wěn)定在空氣軸承要求的工作范圍內(nèi)。如果壓力不足，檢查壓縮機的工作狀態(tài)，是否存在漏氣等問題。對于空氣質(zhì)量問題，可在供氣管道中增加多級過濾裝置，確保進入軸承的空氣潔凈度符合要求。
軸承氣腔堵塞
故障現(xiàn)象：主軸旋轉(zhuǎn)時出現(xiàn)卡頓現(xiàn)象，或者在啟動過程中無法達到正常轉(zhuǎn)速。這往往是因為長期使用過程中，空氣中的雜質(zhì)、切削過程產(chǎn)生的碎屑等進入了軸承的氣腔，堵塞了微小的氣孔，使得空氣無法均勻噴出，破壞了空氣膜的形成。
維修方法：將空氣軸承從設備上小心拆卸下來，使用專業(yè)的清洗劑對氣腔進行仔細清洗?？梢圆捎贸暡ㄇ逑吹姆绞?，利用超聲波的高頻振動將氣腔內(nèi)的雜質(zhì)徹底清除。清洗完成后，用干凈的壓縮空氣吹干氣腔，確保無殘留清洗劑和雜質(zhì)。在重新安裝空氣軸承時，要注意安裝的精度和密封性，防止雜質(zhì)再次進入氣腔。
空氣軸承磨損
故障現(xiàn)象：隨著使用時間的增加，空氣軸承可能會出現(xiàn)磨損，導致主軸的徑向跳動和軸向竄動增大，切片精度下降。磨損的原因可能是供氣質(zhì)量長期不達標，或者在設備運行過程中受到了意外的沖擊。
維修方法：對于輕微磨損的空氣軸承，可以通過研磨的方式進行修復。使用高精度的研磨工具，對軸承的磨損表面進行精細研磨，恢復其表面的平整度和光潔度。但如果磨損較為嚴重，一般需要更換新的空氣軸承。在更換過程中，要嚴格按照設備的安裝手冊進行操作，確保新軸承的安裝位置準確無誤，并且在安裝完成后進行全面的調(diào)試和檢測，保證軸承能夠正常工作，恢復內(nèi)圓切片機的高精度性能。
在空氣軸承的維修工作中，河北中科微電子有限公司的維修團隊展現(xiàn)出深厚的專業(yè)素養(yǎng)與豐富經(jīng)驗。他們對空氣軸承精密復雜的結(jié)構(gòu)以及精妙的工作原理，有著極為透徹的理解。憑借這份專業(yè)積淀，面對各類故障時，維修人員能夠迅速、精準地判斷出故障根源，并依據(jù)實際情況，巧妙運用專業(yè)技術(shù)，采取最為恰當?shù)木S修措施。經(jīng)他們之手修復的空氣軸承，能夠完美恢復至最佳工作狀態(tài)，進而有力保障內(nèi)圓切片機這一關鍵設備高效、穩(wěn)定地持續(xù)運行，為生產(chǎn)工作的順利開展筑牢堅實基礎。