晶圓目檢強光燈是由 光源模塊(LED、鹵素、濾光片), 光學透鏡組件, 結(jié)構(gòu)支撐部分(支架、底座),調(diào)光系統(tǒng),供電模塊等部分組成。主要用于晶圓表面顆粒及缺陷。發(fā)展歷史1. 早期技術(shù)基礎(chǔ)(1960年–1990年)·半導體發(fā)光技術(shù)突破:1960年代LED技術(shù)萌芽,1968年紅光LED實現(xiàn)商業(yè)化,隨后綠光、黃光LED相繼出現(xiàn),為后續(xù)照明應(yīng)用奠定基礎(chǔ)2。·傳統(tǒng)光源應(yīng)用:早期晶圓檢測依賴鹵素燈
2025-02-28 csmhk 21
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